《表1 研磨实验工艺参数》

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《新型研磨垫对单晶氧化镓研磨的实验研究》

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研磨实验在UNIPOL-1502自动精密研磨抛光机上进行，研磨加工原理如图1所示。研磨过程均在同一工艺参数下进行，均采用W7金刚石磨粒。选用传统铸铁盘、没加偶联剂的新型研磨垫、加有偶联剂的新型研磨垫进行对比实验。研磨实验工艺参数如表1所示。为了避免灰尘等杂质对抛光实验结果的干扰，实验都在1 000级无尘实验室中进行。