《表3 固结磨料研磨蓝宝石工艺参数》

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《固结磨料研磨单晶蓝宝石亚表面损伤的预测》

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实验采用的样件为直径50.8 mm、厚度0.5 mm左右的C向单晶蓝宝石片。在腐蚀实验前，利用金刚石固结磨料垫研磨加工样件，固结磨料垫中的金刚石粒径分别为W65、W50、W28、W14。研磨时采用相同的研磨液和工艺参数，其中研磨液为去离子水+0.3%OP-10乳化剂，研磨工艺参数如表3所示。