《表1 刷洗机参数表：6寸蓝宝石衬底清洁优化工艺的研究》

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《6寸蓝宝石衬底清洁优化工艺的研究》

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量测衬底表面颗粒使用外观检测仪（KLA-Tencor Candela CS20R），该设备利用激光扫描样品整个表面，通过4个频道（散射光频道，反射光频道，相移频道及Z频道）探测器收集到的信号，快速的将缺陷（包括Particle、Scratch、Pits、Bump、Stain等）进行分类，统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，最小可检测出0.3μm大小的颗粒。本研究对所有检测到的颗粒进行分析与比较，刷洗机使用细部参数如表1所示。