《表1 工艺实验参数：金属杂质辅助低能氩离子束诱导蓝宝石自组织纳米结构》

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《金属杂质辅助低能氩离子束诱导蓝宝石自组织纳米结构》

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实验在室温下进行，基片选用双面抛光的C向蓝宝石，微波功率为345 W，刻蚀气体选用纯度为99.999%的Ar气，充气流量由气体流量计控制为7.0 sccm，其它实验参数如表1所示。