《表1 点胶高度110μm和140μm时银浆三维模型数据Tab.1 3Dmodel data of silver paste under dispensing height with 110μm an

《表1 点胶高度110μm和140μm时银浆三维模型数据Tab.1 3Dmodel data of silver paste under dispensing height with 110μm an   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化》


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(μm)

由上节分析可知,在点胶高度设置为110μm和140μm的情况下,贴片高度随固晶厚度变化的趋势较平缓,且确定的点胶高度和固晶高度对应着图10和图11中唯一的爬胶高度和固晶厚度。在缩小点胶高度和固晶高度选择范围并结合式(1)后,可得出不同银浆的三维模型如表1所示。