《表2 无基膜集成导光板样品上下表面微结构参数测试值Tab.2 Test values of structural parameters of the microstructures on the t

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《无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作》

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根据图5所示的改进方案，制作了5inch、无基膜支撑的集成导光板样品，如图6所示（彩图见期刊电子版），其中红色标记点1、3和黑色标记点2分别表示表2中样品非球面半柱状微结构的3个测试点位置，黑色标记点1、2、3分别表示表2中微棱镜结构的3个测试点位置；制作过程中所使用的回形模具槽厚度为0.25mm，UV固化光源为385nm的LED灯，两次固化过程的辐射照度都为0.9 W/cm2，固化时间都为0.8s。运用激光共聚焦显微镜测试样品上下表面微结构参数，所得测试图如图7所示，微结构参数测试值如表2所示。