《表1 集成导光板上下表面金属模板的微结构参数测试值Tab.1 Test values of structural parameters in the first and second metal m
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为了实现上述设计，首先运用超精密机械加工技术分别制作了上下表面微结构阵列的金属模板一和金属模板二，其实物图、结构测试图、结构参数测试值分别如图2、图3、表1所示（彩图见期刊电子版）；然后再利用微结构功能膜制作技术，将上述两块金属模板上的微结构阵列复制转印形成单层膜结构的集成导光板样品。
| 图表编号 | XD0032416400 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2019.01.01 |
| 作者 | 徐平、黄燕燕、张旭琳、杨伟、彭文达 |
| 绘制单位 | 深圳大学电子科学与技术学院微纳光电子技术研究所、深圳大学电子科学与技术学院微纳光电子技术研究所、深圳大学电子科学与技术学院微纳光电子技术研究所、深圳大学电子科学与技术学院微纳光电子技术研究所、深圳大学电子科学与技术学院微纳光电子技术研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
