《表2 点胶高度110μm和140μm时固晶推力测试数据Tab.2 Test data of solid crystal thrust under dispensing height with 110

《表2 点胶高度110μm和140μm时固晶推力测试数据Tab.2 Test data of solid crystal thrust under dispensing height with 110   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《MEMS热电堆芯片固晶工艺参数的优化》


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通过比较不同贴片高度与点胶高度下的固晶推力数据如表2所示,可知:点胶高度为140μm,贴片高度为460μm时,固晶推力值为43.14N,固晶强度符合MIL-STD-883美国军标要求且固晶强度值最大。