《表2 SEM, STM, SNOM和AFM的测量特性比较Tab.2 Comparison of measuring characteristics of SEM, STM, SNOM and AFM

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《三维表面粗糙度测量方法综述》

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纳米表面粗糙度分析法适用于纳米尺度粗糙度的测量。该类方法中，SEM通常比SPM有更大的视场，数据处理更为容易。而SPM则具有优异的空间分辨能力，STM和AFM仪器的分辨率均可达原子级别。另外，SPM的测量环境不局限于真空，可在大气甚至液体环境中实现测量。目前，SPM已经是三维粗糙度分析类仪器的主流[75]，并且随着其他基于电学、磁学和力学等物理原理在SPM仪器中的使用，SPM方法的应用范围仍在不断拓展。表2总结了现有纳米尺度分析类仪器在三维表面粗糙度测量领域的测量特性[76-77]。