《表1 三维表面粗糙度非接触式测量法比较Tab.1 Comparison of non-contact measurement methods for areal surface roughness

《表1 三维表面粗糙度非接触式测量法比较Tab.1 Comparison of non-contact measurement methods for areal surface roughness   提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《三维表面粗糙度测量方法综述》


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非接触式测量法适用于被测工件表面连续、斜率适度的情况，因为入射光到达表面深谷会引起多重散射，进而影响测量结果的准确性。不同方法适用的测量范围有所区别，如共聚焦色差显微法可以测量透明材料，而其他共焦原理的测量方法却很难做到。表1总结了现有的三维表面粗糙度光学测量法的测量特性[64-67]。

图表编号XD0032415400    严禁用于非法目的
绘制时间2019.01.01
作者何宝凤、丁思源、魏翠娥、刘柄显、石照耀
绘制单位北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心、北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心、北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心、北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心、北京工业大学北京市精密测控技术与仪器工程技术研究中心
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