《表2 Nano measurer测量SEM图片的取样统计Table 2 Statistical results of SEM by nano measurer》

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《ZrO_2涂层对基底阻尼特性的影响》


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涂层形貌及Nano measurer测量分析发现:在低温下制备的涂层颗粒呈三角形,表面晶粒有明显的晶界,晶粒较为细小;随着温度的升高,三角形的尺寸逐渐增大,涂层的晶粒逐渐增大;当基片温度到达600℃时,晶粒尺寸较500℃增大不明显,但涂层晶粒的棱角变得更圆润,晶粒更易团聚相连组成大的晶粒团,并且晶粒之间的间隙很小.Nano measurer测量SEM图后的取样统计见表2.