《表2 LFS和AFM对二维栅格测量区域测量结果比较Table 2 Comparison of LFS and AFM measurement results in two-dimensional g

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《基于栅格样版正交方向扫描的精准测量》

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本文分别选用计量型纳米测量系统激光共聚焦测头（LFS）和原子力测头（AFM）对一维、二维栅格标准样版测量区域进行正交方向的测量与标定，所选测量范围为20μm×20μm[12]，在测量范围内选取同一位置进行10次重复性测量。测量扫描图像如图10所示，图10（a）为栅距1μm一维栅格测量区域正交方向扫描图，图10（b）为栅距2μm二维栅格测量区域正交方向扫描图。表1和表2为分别采用LFS、AFM两种测量方法对一维栅格以及二维栅格测量区域重复性测量结果。