《表1 研磨试验参数Tab.1 Lapping experimental parameters》

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《蜂窝状结构半固结磨料研磨盘的制备及应用》

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研磨时，行星轮位于太阳轮和外齿圈之间，并与其啮合绕太阳轮做行星运动，工件放置于行星轮上的圆孔内，在行星轮的带动下做行星运动。研磨过程中，研磨压力由上盘提供，使衬底与上、下盘面压合并通过相对运动实现对衬底的双面研磨加工。为了研究研磨盘在不同加工压力和不同转速下的加工效果，研磨试验分两组进行，具体试验参数如表1所示。