《表1 国内外SST实验平台性能对比》

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《SF_6替代气体C_4F_7N-N_2电离特性的稳态汤逊法研究》

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注:（1）旋进式:通过螺杆的旋转来调节极板的位置，该方法下极板跟随螺杆一起旋转；（2）非旋进式:利用动密封实现极板及其连接杆在某一方向上的平动。

真空系统是SST实验平台中一个极为重要的组成部分。SST实验要求测量气体放电参数过程中气体压强和组成成分保持不变，所以既要求电离腔室内充气前杂质气体能被基本抽净，同时要求充气后腔室内气压能保持稳定即外界的杂质气体不能进入腔室。本文SST实验平台的电离腔室的本底真空度接近2×10-5 Pa，可以满足SST实验对本底真空的要求。同时，对腔室漏气率的检查采用在实验条件下预充入气体后观察气压变化的方法，得到平均漏气率约为0.11 Pa/h，优于大多数SST平台的报道值（表1），接近国外相关文献报道的最好水平[11]。因此，该平台的真空系统可以保证腔内气压p在一组极板间电压U对应的电子崩电流I数据的测量周期内（约5 h）维持不变，能更好地满足实验要求，保证实验结果的可靠性。