《表3 三种不同扩束比对应的组元间隔》

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《可变光片照明系统设计》

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确定无焦变倍扩束系统的扩束比M为1～10倍，图4显示了Zemax优化设计的1×低扩束比、6×中扩束比和10×高扩束比的扩束系统结构，各结构的透镜参数如表1、表2和表3所示。无焦变倍扩束系统包括前固定组（L1，L2），变倍组（L3），补偿组（L4，L5），后固定组（L6，L7），焦距分别为f1′=40.0 mm、f2′=-17.5 mm、f3′=-11.5 mm、f4′=51.0 mm。高斯光束（w0=0.5 mm）经过扩束系统后，束腰范围为w2=0.5～5 mm。