《表6 三种不同扩束比系统优化后照度均匀性》

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《可变光片照明系统设计》

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控制所获取的光片厚度值不变的情况下，加入以照度均匀性为指标的评价函数优化各个扩束比时的照度均匀性。把柱透镜和照明物镜的曲率半径及其之间空气间隔和玻璃厚度设为变量，反复优化得到图5所示的最终系统，其平面照度如图6（b）、（d）和（f）所示。同样利用公式（7）、（8）对系统优化后Y方向的不同区域分别计算，得到表6所示系统各扩束比的照度均匀性。由表可得，低（1×）、中（6×）和高（10×）扩束比的系统在YOZ平面60%的光片高度区域，照度均匀性分别达到0.65、0.4和0.61，相比初始系统均有一定的提升。可见1×和10×扩束比时的光片在60%区域内具有良好的均匀性，有利于对样本的观察，6×的均匀性还有待提高。