《表1 反射镜结构参数Tab.1 Structure parameters of reflector》

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《基于光栅位移测量的反射镜设计》

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为了满足平行度的调整，实验测试阶段一般采用手动调节反射镜偏转，如果反射镜封装在位移测试器件中，将无法直接接触调节.本文采用静电调节方法，将镜子制作在通过回折梁连接的悬浮质量块上，质量块上布置4块对称的电极板，如图3所示.在质量块下方设置一块电极板，通过调节上下电压差，使反射镜发生偏转，最终达到平行度调节的目的，偏转角度大小可以通过施加电压大小来控制.在工艺加工允许的范围内设计结构参数如表1所示.