《表1 松下传感器技术参数》

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《激光测厚技术在液晶玻璃基板生产中的应用》

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激光在线测厚仪有两种检测方式，分别为双面激光检测（2个激光三角测量传感器）和单面贴辊检测（1个激光三角测量传感器），两种检测方式都是通过测量传感器到被测材料表面的距离。根据设计要求，一个附加的传感器，通常是高精密涡轮传感器，用来测量双面传感器之间的距离或者测量单面传感器到参考物之间的距离。激光在线测厚系统的优点在于采用非接触的测量，相对接触式测厚仪更精准，不会因探头磨损而损失精度。本文重点讨论单面贴辊检测方法在液晶玻璃基板品质厚度测量上的应用。表1为松下传感器技术参数（单面贴辊检测），相关参数定义如图3所示。