《表1 恒温区两端增加阻散流板对比结果》
固态源淀积过程在炉内恒温区进气端放置散流板,出气端加阻流板。做两整批晶圆对比验证,验证结果见表1。
图表编号 | XD0026471300 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2018.06.15 |
作者 | 周继瑞、张朔、许宗瑞、李素华 |
绘制单位 | 河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
固态源淀积过程在炉内恒温区进气端放置散流板,出气端加阻流板。做两整批晶圆对比验证,验证结果见表1。
图表编号 | XD0026471300 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2018.06.15 |
作者 | 周继瑞、张朔、许宗瑞、李素华 |
绘制单位 | 河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司、河南芯睿电子科技有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |