《表3 沉积工艺参数：深紫外全介质反射式滤光膜的研究》
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从图5中可以看出，离子辅助沉积会增大材料的消光系数，即增加了吸收.经实验验证，不加离子源并未影响薄膜性能，因此本实验不采用离子辅助沉积技术.实验的沉积工艺如表3所示.
| 图表编号 | XD0023386300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.10.01 |
| 作者 | 刘冬梅、黄宏、付秀华、张静、张功 |
| 绘制单位 | 长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院、长春理工大学光电工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
