《表1 工艺参数：塑料超宽带减反射膜及抗高温高湿特性研究》

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《塑料超宽带减反射膜及抗高温高湿特性研究》

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该实验所用机器为日本光驰生产的型号为SDAR-1800-DCI镀膜机，该镀膜机配有双电子枪、射频离子源和XTC/3膜厚监控仪。抽真空至5.0×1.0-3 Pa后开始沉积，设置真空室侧壁温度为120℃，离子源ACC参数为600 V。SiO2在蒸镀过程中化学成分稳定，不需要充氧，设置Ar流量为10 sccm。Ti3O5在蒸镀过程中会分解为一高化合价和一低化合价的化合物，低化合价的氧化物会产生吸收现象，所以在蒸镀过程中充入足量的氧气。具体镀膜工艺参数如表1所示。