《表2 可靠性指数关系：复杂系统光刻机的可靠性评价方法》

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《复杂系统光刻机的可靠性评价方法》

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注:D、P、T、F、Q代表各一级项目，0.3代表各一级项目的权重，由企业统一分配。

可靠性指数模型由一级指数（企业级）、二级指数（产品级）、三级指数（部门级）组成，其逻辑关系如表2、图2所示。