《表3 可靠性工作水平等级》

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《复杂系统光刻机的可靠性评价方法》

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可靠性工作水平评价参考软件能力成熟度模型、系统工程能力成熟度模型[8-9]，制定相应的可靠性工作水平等级。可靠性指数模型中二级项目采用百分制，建立相应的计算方式，各级指数计算分数与可靠性工作水平等级对应关系详见表3。