《表4 计算方式:复杂系统光刻机的可靠性评价方法》
各项目的计算方式均需明确计算方式和评分细则,见表4。
图表编号 | XD00229092600 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.09.02 |
作者 | 朱辉、周旭、赵瑞龙 |
绘制单位 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
各项目的计算方式均需明确计算方式和评分细则,见表4。
图表编号 | XD00229092600 严禁用于非法目的 |
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绘制时间 | 2020.09.02 |
作者 | 朱辉、周旭、赵瑞龙 |
绘制单位 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
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