《表1 可靠性指数模型：复杂系统光刻机的可靠性评价方法》

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《复杂系统光刻机的可靠性评价方法》

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可靠性指数模型的构建是进行可靠性工作评价的基础，根据内涵，其指数体系包含5项一级项目:可靠性设计、物料优选（评价底层物料选型质量）[7]、可靠性试验、故障归零、现场可靠性数据系数。各一级项目进行向下分解为二级项目，包含可靠性工作完整度、可靠性设计符合度、可靠性能力建设、物料复用率、物料集中度、验收试验合格率、故障率、平均故障间隔时间MTBF达标率及平均修复时间MTTR等14个二级项目组成，详见表1。