《表1 xy向驱动板模态分析》
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利用ANSYS 14.5对xy、z向驱动板进行了模态分析，并提取前4阶模态，结果如表1和表2，图10和11为xy和z向驱动板的前四阶振型图.通过模态分析结果可以看出，微定位平台的xy驱动板和z向驱动板一阶固有频率分别为1 197.89 Hz和2 107.01 Hz，而实际工作的中频率一般在400 Hz～500 Hz之间，所以该微定位平台能够正常工作.
| 图表编号 | XD00226220700 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.10.01 |
| 作者 | 马若鹏、王桂莲、吕秉锐、徐进友 |
| 绘制单位 | 天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室、天津理工大学机械工程学院天津市先进机电系统设计与智能控制重点实验室 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
