《表3 不同碱用量下的失重率Tab.3 Weight loss rate under different alkali dosage》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《碱刻蚀制备金字塔条件对多晶黑硅性能的影响》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

实验结果表明，刻蚀溶液中氢氧化钾的含量不同，刻蚀后得到的硅片不同，以至于最终制备出的黑硅也不同。实验的工艺条件为:碱刻蚀溶液200m L，时间240s、温度80℃、添加剂A为5m L·L-1，氢氧化钾溶液浓度为28.8~86.4g·L-1对硅片进行刻蚀，重复3次，然后对刻蚀前后硅片的失重率、刻蚀后硅片的表面形貌、黑硅的反射率情况进行研究。失重率情况见表3。