《表2 S2在80℃不同酸液中浸泡30 h后的失重情况对比Tab.2 Weight loss of S2in different kinds of aqueous acid solutions at

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《LTCC基板材料耐酸蚀性能研究》

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通过S2样品在不同酸液中的腐蚀实验来考察酸液种类对基板材料腐蚀程度的影响规律，结果如表2所示。由表2中数据可知，低浓度下基板材料在三种酸性溶液中的单位面积失重量无明显差异；当浓度增加后，基板在硫酸中的单位面积失重量明显低于盐酸和硝酸溶液；相同实验条件下的盐酸和硝酸溶液对基板材料的腐蚀程度无明显差异。