《表4 FSM-300快反镜参数》

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《音圈电机快速控制反射镜研究现状》

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Newport公司的典型快反镜产品型号为FSM-300，实物如图10所示，其性能参数如表4所示。快反镜采用动磁式驱动设计，采用4个十字交叉轴作为柔性支撑，以QD为探测器的光电测角方案。