《表1 反面镜中涉及的参数和计算结果》

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《光学元件缺陷在线检测光学系统设计分析》

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为了使得光学元件缺陷实现等精度高分辨率成像，当物距不同时，需要进行调整成像焦距操作，从而使其成像系统放大倍率恒定。根据技术要求，当工作物距在1.1～5.6m之间时，不同平面镜进行检测，其中反面镜的直径和各种物距相关数据如表1所示，其中存在的检测要求为视场范围时0.1m，另外物方分辨率也要优于0.1mm。然后再根据下面公式能够计算出半视场角、镜头焦距和垂直轴放大倍率，结果如表1所示。