《表1 不良品反面凹槽表面的元素分析结果》

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利用EDS仪对不良品和良品反面凹槽不同区域表面元素进行分析,不良品和良品的反面凹槽表面分析区域分别如图3和4所示,检测结果分别如表1和2所示。