《表2 正交实验条件组合方案》
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测试过程汇总选择了影响蚀刻反应的4个主要因素，A代表压力p、B代表RF功率、C代表O2、D代表Cl2。每个因素取3个水平（表1）进行正交实验，实验组合方案见表2。
| 图表编号 | XD00220229500 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.10.20 |
| 作者 | 华卫群、刘维维 |
| 绘制单位 | 无锡中微掩模电子有限公司、无锡中微掩模电子有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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