《表1 锥形结构的模型参数》

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《硅纳米锥阵列结构参数对抗反射性能研究》

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单位:nm

仿真分别选择了实验中250 nm、400 nm与800 nm粒子直径自组装刻蚀形成的形貌参数，建立了模型1、模型2与模型3。各个模型的阵列结构参数如表1所示。研究范围与每个模型自身的参数有关，参照表2。