《表1 加速寿命试验前后性能变化Tab.1 Changes in performance before and after the acceler-ated aging tests》

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《SiN钝化层对GaAs pHEMT低噪声放大器芯片耐氢效应能力的影响》

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复测完成氢气氛围中加速寿命试验样品的电性能，并与试验前测试数据对比，变化量如表1所示。同时对两种钝化层厚度的样品进行空气氛围中150℃、105h加速寿命试验，观察两种样品性能的变化量。试验过程中两种钝化层状态的样品总工作电流Id随时间t变化的曲线见图5，图中纵坐标为归一化电流Id/Id0，为监控采集的电流数据与样品试验过程中环境温度稳定后的平稳电流值作比得到。对比结果表明，未加厚钝化层样品在空气氛围中老炼后性能变化幅度远小于0.2%浓度氢气氛围中老炼变化幅度，而加厚钝化层的样品在空气氛围、20%浓度氢气氛围中老炼后性能变化幅度相当。说明氢气氛围中未加厚钝化层样品的性能变化是受氢气影响造成的，而加厚钝化层的样品性能小幅波动是由于测试系统小幅误差、电老炼共同造成的。