《表9 季铵化阶段反应因素水平》

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《咪唑啉缓蚀剂工艺条件优化及效果》

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选取了季铵化原料配比、季铵化反应时间和季铵化反应温度三个因素，分别用A～C表示，每个元素选取三个水平，采用L9（33）正交表．咪唑琳季铵化试剂合成反应正交实验的反应因素水平和实验数据参见表9、10.