《表4 酰胺化阶段反应因素水平》

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《咪唑啉缓蚀剂工艺条件优化及效果》


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通过设计正交实验来对中间体合成的工艺条件进行优化.选取了原料配比、环化时间和催化剂用量三个因素,分别用A~C表示,每个因素选取三个水平,采用L9(33)正交表,具体设计如表4、5所示.