《表1 2 12层板的层偏测试PAD的切片测量数据》

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《高层数板内层孔线间距制程能力测试》

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分别对两个料号测试板各取2片，进行四个角取样进行切片数据收集，测量出内层各层线路之间的层偏数据，如表11、表12所示。10层板在X方向上的最大层偏量为0.080 mm，在Y方向上的最大层偏量为0.093 mm。抽测生产样板的最大层偏为0.093 mm。12层生产板在X方向上的最大层偏量为0.085 mm，在Y方向上的最大层偏量为0.076 mm。抽测生产样板的最大层偏为0.085 mm。