《表3 10层板底片使用前测量数据（单位：mm)》

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《高层数板内层孔线间距制程能力测试》

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（2）10层板底片使用前测量数据如表3。（1）上机前测量生产底片与原稿对比：X方向涨0.020～0.038 mm，Y方向缩0.025～0.033 mm，（要求生产底片在X方向和Y方向的涨缩均≤0.038 mm），符合生产管控要求。（2）底片每层之间极差要≤0.025 mm，实际X方向最大极差为0.018 mm，Y方向最大极差为0.008 mm，符合生产要求。