《表7 内层隔离环侧蚀量测量数据(单位:mm)》

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《高层数板内层孔线间距制程能力测试》


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在内层蚀刻后,隔离环会相应的变大,故对测试点隔离环蚀刻后做了相应的测量,具体数据变化如表7,测试隔离环蚀刻后变大0.026~0.029 mm。