《表4 12层板底片使用前测量数据（单位：mm)》

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《高层数板内层孔线间距制程能力测试》

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（3）12层生产板底片使用前测量数据如表4。（1）上机前测量生产底片X方向涨0.021～0.037 mm，Y方向收缩0.013～0.036 mm（要求生产底片在X方向和Y方向的涨缩均≤38μm），符合生产管控要求。（2）底片每层之间极差要≤0.025 mm，实际X方向最大极差为0.016 mm，Y方向最大极差为0.023 mm，符合生产要求。