《表1 5种表面深度剖析方法的比较》

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《基于高能粒子溅射的表面深度剖析方法现状及应用》

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随着社会科技进步的发展，检测器的不断改进和更新，各种表面分析技术的分析能力也在不断改善。能够充分了解各种深度剖析技术的特点、原理和应用领域，可以更好地得到表面元素沿深度分布的信息，从而更加全面的认识材料表面的特性和状态。