《表3 不同BSI结构在蓝/绿/红光波长下的量子效率》

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《亚微米级CMOS图像传感器的光学性能优化研究》

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我们总结这几种BSI结构的像素的量子效率，如表3所示，分别在蓝色波长（450nm）绿色波长（550nm）和红色波长（620nm）下像素的量子效率。对于Scheme-1～4方案，像素在蓝光和绿光下的量子效率受金属钨比例改变变化不大，当shceme-5去掉金属钨之后，像素的蓝光和绿光的量子效率分别提升8%和22%左右；而像素对于红光的量子效率，可以明显看到随着钨比例的增加，像素的量子效率基本上是等比例降低。