《表2 具有不同光隔离的BSI结构》

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《亚微米级CMOS图像传感器的光学性能优化研究》

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实验方案如表2，我们设计了一组不同的挡墙结构方案，对每种方案中光损耗来源和像素的光学性能进行了对比分析。在该方案中，我们采用0.8μm的像素尺寸，挡墙结构的线宽为0.09μm，具体方案如下。