《表4 不同BSI结构的信号串扰》

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《亚微米级CMOS图像传感器的光学性能优化研究》

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另外，我们分析了这几种结构像素间的信号串扰问题，如表4。通常对于图像传感器的应用，业界更加关注于芯片在低色温下图像效果，所以我们更加关注绿色像素和红色像素间的相互串扰问题。当像素完全采用二氧化硅隔离时（scheme-5），虽然像素具有非常高的量子效率，但是相互间的串扰问题同样不容忽视，R/G的crosstalk达到了65.1%；当像素隔离采用金属钨和二氧化硅复合结构时，可以大幅改善信号间的相互串扰，当挡墙结构中金属钨的比例在50%～33%左右（scheme-3/4）时，我们可以达到最佳的crosstalk性能52%。