《表3 MIMU三向等刚度橡胶减振器模态及振型方向分布仿真结果Table 3 Simulation results of the modal and vibration mode direction

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《微惯性测量单元橡胶减振器结构设计》

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此样机系统的测量带宽为60 Hz，微机电陀螺表的驱动频率约为18 000 Hz，陀螺表驱动/检测频率的频差为2 000 Hz。此样机经多次实验表明，若系统结构的固有频率为1 000 Hz左右，不仅可远离测量带宽、驱动频率和频差，而且陀螺表的零偏稳定性可达较优状态。根据已有的数据和仿真模型，在不改变橡胶材料的条件下，通过调整环形减振器内、外环结构和橡胶几何结构，最终设计得到的结构如图8所示，内环增加三个法兰结构，外环在三个法兰处制作出相应凹槽，此结构一阶模态值得到了提高且三向等刚度，其三向线振动固有频率值集中在1 300 Hz左右，见表3（表中X方向、Y方向及Z方向列上的数值大小可反映振型方向），第一、二、三阶模态上的振型方向在X，Y及Z三个平移自由度方向上，其对应的振型图如图9所示，其中X方向垂直减振器环形面，Y方向和Z方向沿着减振器环形面径向。