《表2 Si3N4纯度分析表》

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《掺杂PF对干法Si_3N_4制备颗粒强度的影响》


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反应中制得Si3N4粉末纯度不可能为100%,将制备的Si3N4粉进行能谱仪分析,测得各成分含量如表2所示。