《表3 Si3N4颗粒制备及效果表》

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《掺杂PF对干法Si_3N_4制备颗粒强度的影响》

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Si3N4颗粒的制备流程，主要分成两步：（1）PF溶液的制备：取原料中的液体PF分别稀释成浓度为1%，2%，3%，4%，5%的溶液。（2）Si3N4颗粒的制备：将Si3N4粉末在造粒室中进行混合，通过造粒机上的超声波雾化喷嘴将制备好的PF溶液喷入到造粒室中，造粒机根据其造粒特性对Si3N4粉末进行造粒，制得Si3N4颗粒。