《表1 Si3N4陶瓷的力学性能》

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《无压烧结氮化硅陶瓷的致密化过程》


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基于上述研究,认为Si3N4陶瓷的烧结应在较低温度下长时间保温,充分利用颗粒重排机制,提高致密度,随后再高温烧结,促进晶粒长大,由此确定Si3N4陶瓷的烧结制度为先将试样在1 650℃保温2 h,然后升温至1 800℃,保温2 h。采用这一烧结工艺对200MPa压力下冷等静压成形的直径为50 mm、高度7 mm的圆柱状样品进行烧结,所得Si3N4陶瓷的密度与力学性能列于表1,表面SEM形貌如图5所示。由图5可见材料表面致密,没有明显的孔隙,并且形成了典型的双峰分布,即尺寸较大的长柱状晶均匀分布在细小的基体晶粒中,可获得更好的力学性能[24]。从表1可知该Si3N4陶瓷的相对密度为98.4%,硬度HV10为15.7±0.5 GPa,抗弯强度和断裂韧性分别为1037.3±48.9 MPa和5.8±0.2 MPa.m1/2,基本达到气压烧结氮化硅陶瓷的性能水平[25]。