《表1 不同氧化温度的实验探究Tab.1 Experimental study on different oxidation temperatures》

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《垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的实验研究》

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另设D组实验探究高Al氧化层中Al组分含量对氧化孔形状的影响，在氧化层AlxGa1-xAs中分别对x=0.98，0.97，0.96，0.95，0.94，0.925的样片编号为26~32，在炉温420℃、水浴温度90℃、载气N2流量200 m L/min工艺条件下，通过自制的红外光源显微镜和CCD观测俯视成像系统，直接观察中间黑灰区域的形状来判断氧化孔径的形状。