《表4 2号样品SE拟合结果Tab.4 SE fitting result of sample 2》

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《纳米尺度HfO_2薄膜不同厚度对光学性质的影响》

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为了保证拟合结果的可靠性，我们分别在每片样品上选取中心位置5个测量点进行测量，由于折射率会随波长而发生变化，因此选择激光波长（632.8 nm）为测量波长，取厚度和632.8 nm处的折射率的平均值作为最终拟合结果。光谱椭偏拟合的结果分别见表4~6。